PLASMA等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，也叫第四種狀態(tài)（通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在），是利用高壓電源在一定的壓力條件下對(duì)氣體施加足夠的能量而產(chǎn)生。PLASMA等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子，處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基），離子化的原子、分子，未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
PLASMA等離子體性質(zhì)主要與等離子體激發(fā)頻率有關(guān)，國(guó)際常用的有三種激發(fā)頻率：40KHz、13.56MHz和2.45GHz，采用這三種激發(fā)頻率的真空等離子處理儀分別是廣州善準(zhǔn)科技有限公司的VP-S、VP-R/RS和VP-Q系列，不同激發(fā)頻率的等離子體對(duì)材料處理的效果不同，因此，掌握PLASMA的工作原理對(duì)我們深入了解等離子體技術(shù)有很大幫助。
硅片-PLASMA親水性處理（真空等離子處理儀VP-RS8） 二氧化硅-等離子處理（真空等離子處理儀VP-R5）
一、激活鍵能-交聯(lián)作用
PLASMA等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到樣品表面后，可以使樣品表面原有的化學(xué)鍵（C=C、C=O、C=N、Si-Si、Si-O等）產(chǎn)生斷裂，PLASMA等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。
二、對(duì)材料表面轟擊刻蝕-物理作用
物理作用其反應(yīng)機(jī)理主要是利用PLASMA等離子體里大量的離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子作純物理的撞擊，把材料表面的原子或附著在表面的原子打掉，不但清除了材料表面原有的污染物和雜質(zhì)，還會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將材料表面變“粗糙”，形成許多微細(xì)坑洼、溝壑，增大了材料表面的比表面積，提高材料表面的潤(rùn)濕性能。由于離子在壓力較低時(shí)的平均自由基較長(zhǎng)，得到能量的累積，因而在物理撞擊時(shí)，離子的能量越高，越是有更多的能量作撞擊，所以若要以物理作用為主時(shí)，就必須控制在較低的壓力下進(jìn)行反應(yīng)，為了保證真空等離子處理儀腔體內(nèi)較低的壓力，需要持續(xù)通入空氣或者其他惰性氣體（氬氣、氦氣等），這樣處理效果較好。物理作用下的等離子處理適用于玻璃、陶瓷、金屬等材料，推薦使用等離子體激發(fā)頻率40KHz 的VP-S系列或者13.56MHz的VP-R/RS系列真空等離子處理儀。
玻璃基片-物理作用下的等離子處理（真空等離子處理儀VP-S5） ITO導(dǎo)電玻璃-等離子處理（真空等離子處理儀VP-R3）
三、形成新的官能團(tuán)-化學(xué)作用
化學(xué)作用其反應(yīng)機(jī)理主要是利用PLASMA等離子體里的自由基與材料表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，頻率和壓力較高時(shí)，對(duì)自由基的產(chǎn)生較有利，所以若要以化學(xué)反應(yīng)為主時(shí)，就必須配備較高的頻率和較高的壓力來進(jìn)行反應(yīng)。
在化學(xué)反應(yīng)里常用的氣體有氫氣（H2）、氧氣（O2）、甲烷（CH4）、四氟化碳（CF4）、氨氣（NH3）等，這些氣體在真空等離子處理儀腔內(nèi)反應(yīng)成高活性的自由基，會(huì)在材料表面發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如羥基（-OH）、氨基（-NH2）、羧基（-COOH）、醛基（-CHO）等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，能明顯提高材料表面活性，起到活化改性的作用?；瘜W(xué)作用下的等離子處理適用于塑料、高分子、油污、聚合物等材料，推薦使用等離子體激發(fā)頻率13.56MHz的VP-R/RS系列或者2.45GHz的VP-Q系列真空等離子處理儀。
需要特別說明的是有一些材料處理既需要物理作用，也需要化學(xué)作用，例如聚二甲基硅氧烷（PDMS），氧化銦錫（ITO）、芯片去膠、光刻膠去除、硅片、PET薄膜、二氧化硅（SiO2）、PTFE、二硫化鉬等，這個(gè)時(shí)候應(yīng)該選用等離子體激發(fā)頻率是13.56MHz的VP-R/RS系列真空等離子處理儀。
微流控芯片PDMS與玻璃實(shí)現(xiàn)不可逆的鍵合（真空等離子處理儀VP-RS8） SU-8光刻膠等離子體干法去除（真空等離子處理儀VP-RS6）
四、PLASMA處理的方向性-粉末或細(xì)小顆粒
PLASMA真空等離子處理儀配備清洗托盤，把樣品放在托盤上，樣品朝上的一面等離子處理效果明顯，樣品貼著托盤的一面處理效果不明顯，原因是等離子體需要空間讓其做高速運(yùn)動(dòng)，而樣品貼著托盤的那一面，空間變小，不利于等離子體對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，所以樣品哪一面需要等離子處理，就把那一面朝上，如果兩面都需要等離子處理，常規(guī)的做法是待樣品的一面處理結(jié)束后，把樣品取出翻轉(zhuǎn)再進(jìn)行另一面的等離子處理，但如果樣品是粉末或者微小顆粒，這個(gè)方法就有局限性。
石墨烯粉末親水性處理（旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀VP-T3） 炭黑粉末處理72小時(shí)后依然保持分散性（旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀VP-TS7）
善準(zhǔn)科技研發(fā)的旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀VP-T系列很好地解決了這個(gè)問題。旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀VP-T系列真空腔體可旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)樣品滾動(dòng)，實(shí)現(xiàn)360°等離子處理，極大地提升了粉末顆粒等離子處理的均勻性和有效性，旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀VP-T系列有兩個(gè)型號(hào)，分別是VP-T3和VP-TS7，頻率都是13.56MHz，腔體分別采用石英（容積3L）和不銹鋼（容積7L）材質(zhì)，腔體轉(zhuǎn)速可調(diào)，可關(guān)閉（不旋轉(zhuǎn)相當(dāng)于普通真空等離子處理儀），一機(jī)兩用，性價(jià)比高。
適用于石墨烯粉末、納米材料、聚四氟乙烯粉末（PTFE）、碳納米管粉末、炭黑、聚乙二醇粉末、催化劑粉末、金屬氧化物粉末、硼粉、鋁粉，針形樣品、小顆粒樣品等。
PTFE粉末經(jīng)VP-TS7等離子處理后（圖左），分散性和親水性明顯提升 金屬納米粉末經(jīng)VP-TS7等離子處理（圖右），分散性明顯提升
廣州善準(zhǔn)科技有限公司獲得“一種低溫旋轉(zhuǎn)型石英等離子表面處理裝置 專利號(hào)：CN202020226847.2” 等十項(xiàng)國(guó)家專利以及軟件著作，是國(guó)內(nèi)成功掌握產(chǎn)生13.56MHz頻率，保證滿功率運(yùn)行30分鐘真空腔體溫度不高于32攝氏度的真空等離子處理儀生產(chǎn)廠家，目前已上市的旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀則鞏固善準(zhǔn)等離子技術(shù)實(shí)力，把中國(guó)真空等離子處理技術(shù)推向一個(gè)全新的高度。
五、廣州善準(zhǔn)用戶研究方向
廣州善準(zhǔn)科技有限公司已成功注冊(cè)了“SUNJUNE”和“SUNJUNE PLASMA”兩個(gè)商標(biāo)，善準(zhǔn)真空等離子處理儀已成功在芯片制造、柔性材料、智能穿戴設(shè)備、微流控芯片、醫(yī)療器械、二維材料等領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用，國(guó)內(nèi)的高?？蒲袡C(jī)構(gòu)——中科院物理所、中科院化學(xué)所、中國(guó)工程物理研究院、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、香港中文大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)、國(guó)防科技大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、中山大學(xué)等均有配備，使用善準(zhǔn)真空等離子處理儀參與做實(shí)驗(yàn)的多篇高質(zhì)量論文發(fā)表在《Nature》等期刊。
從研究到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，善準(zhǔn)積極參與中國(guó)智造的迭代升級(jí)，鋰電池、新能源汽車、晶圓制造、醫(yī)療器械、半導(dǎo)體行業(yè)的頭部公司選擇了善準(zhǔn)的產(chǎn)品和服務(wù)，善準(zhǔn)和很多中小企業(yè)一樣為中國(guó)智造邁向全球高水平貢獻(xiàn)綿薄之力，企業(yè)一小步，國(guó)家一大步，每一個(gè)企業(yè)向上攀登一尺，匯聚起來就是中國(guó)智造的星辰大海。（以下是發(fā)表在中科院1區(qū)Top期刊）
左圖：西湖大學(xué)使用善準(zhǔn)手套箱專用真空等離子處理儀VP-G3氬等離子體處理二氧化硅（等離子處理全過程不接觸空氣，該成果已發(fā)表在Nature）
右圖：中科院北京納米能源所使用善準(zhǔn)真空等離子處理儀VP-R5活化棉纖維布（可穿戴電子設(shè)備研究，該成果已發(fā)表在Energy & Environmental Science）
左圖：煙臺(tái)大學(xué)使用善準(zhǔn)真空等離子處理儀VP-RS8活化PDMS表面（可拉伸電極研究方向，該成果已發(fā)表在Chemical Engineering Journal）
右圖：同濟(jì)大學(xué)使用善準(zhǔn)真空等離子處理儀VP-R3活化硅片和二氧化硅（電學(xué)器件制備研究方向，該研究成果已發(fā)表在Nano Letters）
左圖：四川大學(xué)使用善準(zhǔn)真空等離子處理儀VP-R3處理碳布（水系電池研究方向，該成果已發(fā)表在Advanced Energy Materials）
右圖：西南林業(yè)大學(xué)使用善準(zhǔn)真空等離子處理儀VP-RS6生物質(zhì)納米纖維（多孔材料甲醛吸附能力研究，該成果已發(fā)表在Industrial Crops & Products）
左圖：華南理工大學(xué)使用善準(zhǔn)真空等離子處理儀VP-R5活化ITO導(dǎo)電玻璃（發(fā)光二極管制備研究，該成果已發(fā)表在ACS Applied Materials & Interfaces）
右圖：中科院新疆理化研究所使用善準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀VP-T3處理不銹鋼氈（分離乳化劑材料的研究，該成果已發(fā)表在Separation and Purification Technology）
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