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年專業(yè)研發(fā)制造經(jīng)驗(yàn)

中國智造行業(yè)品牌廠家

MPU-90i系列

善準(zhǔn)分子泵機(jī)組

一機(jī)兩用

善準(zhǔn)MPU-90i系列分子泵機(jī)組是由渦輪分子泵+前級(jí)泵+真空規(guī)組成的創(chuàng)新型產(chǎn)品，適用于掃描/透射電子顯微鏡（SEM/TEM）、質(zhì)譜儀、低溫真空探針臺(tái)、真空鍍膜機(jī)、原子層/激光沉積設(shè)備（ALD/PLD）、真空退火爐、檢漏儀、蒸鍍儀、超高真空密封石英管等領(lǐng)域，為用戶提供超高真空一站式解決方案。

1.超高真空：極限真空度可達(dá)到10^-6Pa，真空度觸摸屏數(shù)字顯示

2.操作簡易：提供中英文操作界面，觸摸屏一鍵啟動(dòng)分子泵和前級(jí)泵

3.智能化控制程序：采用“IL智能化控制程序”，分子泵自動(dòng)啟動(dòng)、自動(dòng)關(guān)閉，防止誤操作損壞分子泵，專利控制軟件，操作簡易，安全可靠

4.一機(jī)兩用：前級(jí)泵可獨(dú)立使用，滿足粗真空下的使用場景；也可以前級(jí)泵+分子泵聯(lián)動(dòng)使用，獲得超高真空環(huán)境，一機(jī)兩用，性價(jià)比高

5.安裝簡單：分子泵機(jī)組出廠前已完成分子泵、前級(jí)泵、觸摸屏安裝，且完成氣密性檢測

6.全量程真空規(guī)：真空測量范圍1x10⁵Pa-5x10^-6Pa,垂直安裝確保測量準(zhǔn)確

全量程真空規(guī)

標(biāo)準(zhǔn)配件接口

萊寶渦輪分子泵

觸摸屏軟件控制

雙級(jí)旋片前級(jí)泵

安全可靠，分子泵機(jī)組提供手動(dòng)和自動(dòng)兩種控制模式

技術(shù)亮點(diǎn)

分子泵采用萊寶90i渦輪分子泵

分子泵極限真空度10^-6Pa,真空度觸摸屏數(shù)字顯示

分子泵抽速90L/s，轉(zhuǎn)速可達(dá)到1200r/s，轉(zhuǎn)速觸摸屏實(shí)時(shí)顯示

分子泵機(jī)組控制軟件（登記號(hào)：2025SR0008131），操作簡易，中英文觸摸屏控制，提供手動(dòng)和自動(dòng)兩種控制模式

自動(dòng)控制模式，觸摸屏上一鍵啟動(dòng)分子泵機(jī)組，智能化自動(dòng)啟動(dòng)和關(guān)閉分子泵

手動(dòng)控制模式，可單獨(dú)控制前級(jí)泵，提供粗真空環(huán)境

前級(jí)泵采用雙級(jí)旋片真空泵，抽速≥4 m³/h，極限全壓力可達(dá)5x10^-1Pa

全量程真空規(guī)，真空規(guī)垂直安裝，確保測量真空度的準(zhǔn)確性

標(biāo)準(zhǔn)KF25不銹鋼接口，無需轉(zhuǎn)換接口，即連即用

應(yīng)用案例

分析行業(yè)

分析行業(yè)所需的現(xiàn)代儀器依賴于高度精密復(fù)雜的技術(shù)，其中一種技術(shù)便是真空產(chǎn)生技術(shù)

裝樣

真空鍍膜

太陽能電池板、顯示屏、觸摸屏傳感器功能性鍍膜，光學(xué)濾片、透鏡、反射表面、抗反射表面鍍膜，玻璃鍍膜

研發(fā)領(lǐng)域真空

可用于材料科學(xué)、光學(xué)鍍膜、高能物理、表面分析和核研究等需要高真空到超高真空條件的應(yīng)用環(huán)境

熱處理和冶金

面向冶金行業(yè)的真空泵和系統(tǒng)，用于熱處理和優(yōu)質(zhì)鋼、合金生產(chǎn)的高真空環(huán)境

用戶成果：武漢理工大學(xué)在《Advanced Functional Materials》發(fā)表新型硫化物固態(tài)電解質(zhì)的論文—善準(zhǔn)真空封管機(jī)+分子泵機(jī)組

典型用戶

中科院物理所

核工業(yè)西南物理研究院

裝樣

核工業(yè)西南物理研究院采購善準(zhǔn)MPU-90i分子泵機(jī)組，在超高真空環(huán)境下研究等離子體對(duì)材料的作用

中科院物理研究所采購善準(zhǔn)科技MPU-90i分子泵機(jī)組，制備硫化物固態(tài)電解質(zhì)，研究固態(tài)電池

某企業(yè)2

某企業(yè)1

某企業(yè)1采購善準(zhǔn)MPU-90i分子泵機(jī)組，在超高真空下密封石英管并做熱處理

某企業(yè)2采購善準(zhǔn)MPU-90i分子泵機(jī)組，在超高真空下密封石英管研究固態(tài)電池

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)	MPU-90i-4	MPU-90i-8	MPU-90i-30
極限真空度
分子泵抽速	90L/s
真空測量范圍
分子泵最高轉(zhuǎn)	1200r/s，轉(zhuǎn)速在觸摸屏實(shí)時(shí)顯示
分子泵壓縮比（N2和Ar）
前級(jí)泵	真空泵真空泵
操作控制	觸摸屏控制，并提供手動(dòng)和自動(dòng)兩種控制模式
觸摸屏尺寸	4.3寸觸摸屏
操作界面	提供中英文兩種操作界面
智能化控制程序	采用IL智能化控制程序，分子泵自動(dòng)啟動(dòng)、自動(dòng)關(guān)閉，避免誤操作損壞分子泵
一機(jī)兩用	前級(jí)泵可獨(dú)立使用，滿足粗真空下的使用場景；也可以前級(jí)泵+分子泵聯(lián)動(dòng)使用，獲得超高真空環(huán)境，一機(jī)兩用，性價(jià)比高
真空管道接口	KF25		KF25/KF40
真空規(guī)安裝	垂直安裝，確保測量準(zhǔn)確性
外殼材質(zhì)	磨砂烤漆鐵
供電電壓	220V,50Hz
機(jī)箱尺寸（LxWxH）	490x480x270mm		570x530x270mm
配置	分子泵機(jī)組MPU-90i，真空規(guī)，說明書，合格證，保修卡

10^-6Pa

1x10⁵Pa-5x10^-6Pa，真空度實(shí)施在觸摸屏顯示

＞1x10¹¹

雙級(jí)旋片真空泵，抽速≥30 m³/h，

極限全壓力可達(dá)4x10^-1Pa

雙級(jí)旋片真空泵，抽速≥8 m³/h，

極限全壓力可達(dá)5x10^-1Pa

雙級(jí)旋片真空泵，抽速≥4 m³/h，

極限全壓力可達(dá)5x10^-1Pa

用戶成果摘錄

期刊名稱：Energy & Environmental

期刊名稱：Science

影響因子：34.5

中科院分區(qū)：一區(qū)

善準(zhǔn)品牌：SUNJUNE

用戶單位：中國科學(xué)院北京納米能源

用戶單位：與系統(tǒng)研究所

使用儀器：善準(zhǔn)鎮(zhèn)真空等離子處理儀

處理材料：棉紡纖維

期刊名稱：Angewandte Chemie-

期刊名稱：International Edition

影響因子：16.6

中科院分區(qū)：一區(qū)

善準(zhǔn)品牌：SUNJUNE

用戶單位：武漢理工大學(xué)

使用儀器：善準(zhǔn)真空封管機(jī)+分子泵機(jī)組

封管材料：固態(tài)電解質(zhì)材料

期刊名稱：Nature Communications

影響因子：16.6

中科院分區(qū)：一區(qū)

善準(zhǔn)品牌：SUNJUNE

用戶單位：中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)

使用儀器：善準(zhǔn)真空封管機(jī)+分子泵機(jī)組

封管材料：固態(tài)電解質(zhì)粉末

期刊名稱：Nature

影響因子：64.8

中科院分區(qū)：一區(qū)

善準(zhǔn)品牌：SUNJUNE

用戶單位：西湖大學(xué)

使用儀器：善準(zhǔn)真空等離子處理儀

處理材料：氬等離子體處理二氧化硅(等離子處理過程不接觸空氣)

典型用戶

中山大學(xué)

武漢理工大學(xué)

松山湖材料實(shí)驗(yàn)室

華南理工大學(xué)

中山大學(xué)累計(jì)購買分子泵機(jī)組6套，用于石英管的超高真空密封，應(yīng)用于熱電材料、固相合成、化學(xué)氣相轉(zhuǎn)運(yùn)方法等

武漢理工大學(xué)2022年購買善準(zhǔn)真空封管機(jī)+配分子泵機(jī)組，用于制備硫化物固態(tài)電解質(zhì)制備

核工業(yè)西南物理研究院2024年購買善準(zhǔn)分子泵機(jī)組，在超高真空環(huán)境下研究等離子體對(duì)材料的作用

華南理工大學(xué)2019年和2020年購買真空封管機(jī)+分子泵機(jī)組，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)使用善準(zhǔn)產(chǎn)品參與做實(shí)驗(yàn)的論文已發(fā)表11篇

知識(shí)產(chǎn)權(quán)聲明

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